炜盛科技流量类皮拉尼真空传感器
基本参数
- 系列特性
- 1.超低功耗<5毫瓦 2.快速响应时间<5毫秒 3.耐冲击至1000g 4.可测量气体体积最低至0.1 cm3 5.低噪声 6.高分辨率 7.同一芯片上进行温度传感 8.长期稳定 9.可用溶剂浸泡清洗，延长使用寿命
- 应用领域
- 1.分析仪器 2.使用前级真空的封闭系统的检漏 3.半导体设备4.真空包装机 5.便携式数字真空计 6.小型机械系统（如泵）以达到规定的真空度 7.低成本真空开关来验证1托以下的真空度
- 测量电阻
- 135~165欧姆
- 基准电阻
- 270~330欧姆
- 电阻TCR
- 0.0025/°K
- 湿度
- 0~100%
- 加热电流
- 4-6.5毫安
- 运行温度范围
- -40~85℃
- 能耗
- 5毫瓦
- 耐冲击性
- 1000g
- 超压
- 27.5Bar
- 可测量的气体体积
- 0.1cm3
- 反应时间
- 5毫秒
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