炜盛科技测试系统DGS03
基本参数
- 系列特性(Series Features)
- 使用方便、灵敏度高、精度高。
- 流量规格(Flow specification)
- （0~5，10，20，30，50，100，200，300，500）SCCM ;（0~1，2，3，5，10，20，30）SLM
- 准确度(degree of accuracy)
- ±1.0% S.P . (≥35% F.S.);±0.35% F.S. (＜35% F.S.)
- 线性(linear)
- ±0. 5% F.S.
- 重复精度(repeatability)
- ±0.2% F.S.
- 工作压差范围(Operating differential pressure range)
- 0.05~0.35Mpa 流量规格≤10SLM＜0.02MPa ;0.1~0.35Mpa 流量规格＞10SLM＜0.02MPa
- 温度系数(temperature coefficient)
- 零点：≤±0.05FS/℃; 调节时:≤±0.1FS/℃
- 耐压(withstand voltage)
- 3MPa
- 响应时间(response time)
- ≤2sec
- 漏率(leak rate)
- 1×10-10pa.m3/sec He
- 密封材料(sealing material)
- 氟橡胶; 金属密封
- 工作环境温度(operating ambient temperature)
- (5~45) ℃
应用领域
- 应用领域
- 可以适用于配制高、低浓度的多种目标组分标准气体，甚至包括爆炸性气体和毒性气体，具有很好的应用价值
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